Produkte – Optische Messtechnik

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Optisches Messsystem
Optisches Messsystem, Multisensor

µsurf custom

Das 3D-Oberflächenmesssystem genau nach Ihren Anforderungen

Die optischen µsurf custom-Messsysteme werden höchsten Ansprüchen an Messqualität, Komfort und Flexibilität gerecht. Mit nanometergenauer Auflösung sind selbst bei kleinsten Höhenstrukturen aussagekräftige Messergebnisse garantiert – und das in Sekundenschnelle. Durch die robuste konfokale Multi-Pinhole-Technologie bleibt diese Genauigkeit vom Einsatz im Reinraum bis hin zur rauen Produktionsumgebung erhalten.

Das µsurf custom ist das ideale Oberflächenmesssystem für die Topografiemessung und Rauheitsmessung nach DIN EN ISO, die Vermessung von Mikrogeometrien und Schichtdicken. Es erfasst exakte dreidimensionale Strukturen und komplexe Geometrien im Mikro- und Nanometerbereich. Auch bei Oberflächen mit steilen Flanken und diskontinuierlichen Gebieten ist eine reproduzierbare 3D-Messung gewährleistet. Der große Dynamikbereich ermöglicht ein breites Spektrum an messbaren Oberflächen – von spiegelnd glatt bis rau.

NanoFocus stellt das optische Messsystem μsurf custom genau nach Ihren Anforderungen zusammen. Somit kann Ihre individuelle Messaufgabe wirtschaftlich optimal realisiert werden. Eine große Auswahl an Hard- und Softwarekomponenten ermöglichen Universal-Laborgeräte bis hin zur vollautomatisierten „Knopfdrucklösung“. Zudem sind Hard- und Software mit einer großen Bandbreite von optionalen Features auf- und nachrüstbar. So wächst das konfokale Messsystem mit den Anforderungen an Automatisierung, Messkomfort und Genauigkeit.

Multisensor-Option

Multisensorik

Das µsurf custom ermöglicht prozessnahe Multisensorik auf höchstem Niveau. Die flächenhaft messende μsurf-Technologie wird dabei mit einem linienhaft messenden μscan-Punktsensor kombiniert. Die Integration der beiden industriebewährten NanoFocus-Technologien in einem optischen Messsystem bietet Ihnen die Möglichkeit, je nach Messaufgabe den optimalen Sensor zu wählen. Für die Analyse großflächiger Messbereiche bietet sich der schnell scannende Punktsensor an. Durch Umschalten auf die μsurf-Technologie können ausgewählte Bereiche oder genau definierte Messstellen daraufhin mit höchster Messpräzision flächenhaft erfasst werden. Für höchste Bedienfreundlichkeit werden die beiden Sensoren aus einer Software angesteuert.

Anwendungsbeispiele

Die optischen Messsysteme der µsurf custom Serie sind flexibel in vielen Industrie- und Forschungsbereichen einsetzbar, etwa zur Topografie- und Rauheitsmessung nach DIN EN ISO an Feinblech- oder Waferoberflächen, Motorkomponenten, medizinischen Implantaten oder zur Erfassung von Verschleiß und Materialeigenschaften. Mit den optischen Messsystemen ist ein exaktes, mit Tastschnittgeräten vergleichbares Messen von Oberflächen beliebiger Fertigungsverfahren möglich. So sind auch Form und Rauheit von Mikrospritzguss-Komponenten, Mikrolinsen aus Silizium, Glas oder Polymeren sowie die Mikrogeometrie von Aktuatoren problemlos erfassbar und auswertbar. Ebenso wird das optische Messsystem erfolgreich im Halbleiter- und Elektronikbereich zur Messung der Rauheit von Kontakten, für Geometriemessungen in der Verbindungstechnik, zur Schichtdickenmessung oder Messung der Waferkantengeometrie eingesetzt. Lassen Sie sich für Ihre individuelle Messaufgabe von einem unserer Spezialisten beraten.

Geometriemessung eines Mikrovias

Mikrovias

Die µsurf-Technologie erfasst auch die Geometrie von kleinen und tiefen Mikrovias exakt. Details zur Anwendung

Verschleiß einer Wendeschneidplatte

Wendeschneidplatten

Mit dem µsurf custom lassen sich steile Kanten, raue Oberflächen sowie das Kolkvolumen schnell bestimmen. Details zur Anwendung

3D-Messung eines Mikrolinsen-Arrays

Mikrolinsen

Mit den optischen Messsystemen auf Basis der µsurf-Technologie messen Sie Mikrolinsen dreidimensional und zerstörungsfrei in verschiedenen Stationen des Fertigungsprozesses. Details zur Anwendung

Auf einen Blick

  • Individuell konfigurierbar
  • Vollautomatisierung
  • Multisensorik
  • Diverse Zusatzsensoren
  • Große Verfahreinheiten
  • Fertigungsrelevante Schnittstellen
  • Kollisionsdetektion
  • Ausgelegt auf Dauerbetrieb

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µsurf-Broschüre

Fachartikel zum µsurf custom

Optische 3D-Messtechnik für Microlinsenarrays

Der Artikel Optische 3D-Messtechnik für Mikrolinsenarrays ist eine gemeinsame Veröffentlichung mit unserem Kunden SUSS MicroOptics.

Ansprechpartner
Benjamin Oevermann
Telefon:  +49 208 62000-61
Fax:  +49 208 62000-99

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