Produkte – 3D-Oberflächenmesstechnik

Produkte

µsprint sensor

100%-Kontrolle mit dem schnellsten konfokalen Sensor

Die flexiblen und extrem schnellen Konfokalsensoren der µsprint-Reihe setzen mit bis zu mehr als 5 Millionen 3D-Messpunkten pro Sekunde neue Maßstäbe in Sachen Geschwindigkeit. In Kombination mit seiner hohen Präzision und einem großen Messfeld ist µsprint damit die inlinefähige All-in-One-Lösung für eine große Bandbreite von Messaufgaben.

Ob als Standalone-Lösung für das Labor, mit Umhausung für die industrielle Produktionsumgebung oder die Integration in bestehende Anlagen – die µsprint-Technologie lässt sich flexibel und leicht integrieren.

Der neue µsprint C3x: Noch schneller, noch präziser

Im Vergleich zum µsprint C3 Sensor erreicht der neue C3x Sensor mit 10 nm eine 10-fach höhere axiale Auflösung sowie eine laterale Auflösung bis 0,5 µm bis 2,5 µm. Dank des von der Zeiss AG exklusiv für die µsprint-Produktlinie von NanoFocus entwickelten hochaperturigen Objektivs, lassen sich auch Flankensteilheiten bis 53° messtechnisch erfassen. Dies bietet vor allem im Bereich der Bump-Inspektion große Vorteile in Bezug auf die Messdatenstabilität.

Dabei werden mit dem 256-Kanal-System mehr als 5 Mio. 3D-Messpunkte pro Sekunde verarbeitet. Für den Anwender bedeutet das eine Erhöhung seines bisherigen Outputs um bis zu 80% im Vergleich zum µsprint C3.

 

 

Anwendungsbeispiele

Besonders geeignet ist der Sensor für die 3D-Forminspektion, die Bumpinspektion auf Wafern und Substraten sowie für die Inspektion von Laserschweißungen.

3D-Messung von Micro Bumps

Bump Inspection

Mit hoher Auflösung und Dynamik ermittelt der µsprint sensor exakte Höhen und Durchmesser, Koplanarität und andere Parameter. Details zur Anwendung

3D-Messung eines Stent-Defekts 360°

Stents

Mit dem µsprint sensor messen Sie 360° der Stentoberfläche, sowohl Innen- als auch Außenseite, mit Inline-Geschwindigkeit. Details zur Anwendung

Auf einen Blick

  • Schnellster konfokaler Sensor
  • Inlinefähig
  • Hohe Präzision
  • Unabhängig von Oberflächeneigenschaften
  • Einfache Integration
  • Hohe numerische Apertur

Kontaktieren Sie uns

Rückrufservice             
Termin 
vereinbaren
Testmessung

Informationen
anfordern

Preisanfrage

Ansprechpartner
Kevin Strewginski
Telefon:  +49 208 62000-0
Fax:  +49 208 62000-99

Anmeldung

Geben Sie Ihren Benutzernamen und Ihr Passwort ein, um sich an der Website anzumelden:

Kennwort vergessen?