Produkte – 3D-Oberflächenmesstechnik

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µscan sensor

Punktsensoren zur Integration in Fertigungsmaschinen

Die präzisen Punktsensoren der µscan-Reihe sind für die Integration in Ihre Fertigungsmaschine vorbereitet. Die angebotenen Sensorarten decken ein breites Spektrum an Messaufgaben ab.

Konfokaler Punktsensor – CF

Der robuste konfokale Punktsensor ist ein Universaltalent bei der Erfassung von Höhenprofilen, Topografien, Geometrien und Rauheiten nach DIN EN ISO. Die Messpräzision erreicht 20 nm in der Höhe, mit einem Lichtfleckdurchmesser von 1,7 µm. Der Punktsensor erfüllt eine Vielfalt von Messaufgaben, unabhängig davon, ob die Oberfläche spiegelglatt oder rau ist. Durch den großen Dynamikbereich bleibt die Messung bei stark variierenden Reflexionseigenschaften fehlerfrei. Auch bei geringer Reflexion kann das Profil sicher reproduziert werden. Große Flankenwinkel von bis zu 70° werden mühelos erfasst.

Chromatischer Sensor – CLA

Mit moderner LED-Technologie löst der chromatische Sensor durch seinen großen Dynamikbereich eine Vielzahl von Messaufgaben. Seine kompakte Bauweise ermöglicht präzise Messungen an schwer zugänglichen Stellen. Die Stärken zeigt der CLA-Sensor insbesondere bei der Aufnahme rauer Oberflächen und der Messung von Geometrie und Schichtdicke. Die modular aufgebauten Messköpfe erlauben durch einfaches Tauschen des Vergrößerungselements verschiedene Auflösungen. Für den Einsatz in der Qualitätskontrolle sind Messgeschwindigkeiten bis zu 30 kHz möglich.

Holografischer Sensor – CP

Der holografische Punktsensor ist für die berührungslose Messung großer Höhenbereiche bei der Geometrieerfassung von Bauteilen ausgelegt. Er erfasst präzise und sicher auch stark strukturierte Oberflächen, unabhängig vom Reflexionsgrad. Geneigte Flächen oder steile Flanken, wie z.B. bei Zahnrädern, können ohne Artefakte aufgenommen und ausgewertet werden. Ein weiterer Vorteil ist der große Arbeitsabstand des Sensors.

Anwendungsbeispiele

Die µscan-Sensoren sind für den Einsatz in verschiedensten Industrie- und Forschungsbereichen geeignet.

 

Fresnel-Linsen

Die µscan-Technologie misst auch bei schwacher Reflexion sicher und garantiert gleichzeitig eine hohe Auflösung.

Leiterbahnen und -platten

Erfassen Sie mit den µscan-Sensoren Substratverwölbung, Rauheit sowie die Leiterbahnen-Geometrie in nur einem Messprozess. Details zur Anwendung

Auf einen Blick

  • Präzise 3D-Messung
  • Berührungslos
  • Verschiedene Sensortypen zur Anpassung an die Messaufgabe
  • Erfassung von Rauheit, Schichtdicke und Geometrie
  • Schnelle Messwertaufnahme

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