In Zusammenarbeit mit der Hymite GmbH hat die NanoFocus AG das µscan leak test entwickelt, einen optischen Lecktester für MEMS und optoelektronische Bauelemente direkt auf dem Wafer.

Das Lecktestgerät beruht auf dem optischen Profilometer µscan in Verbindung mit einer Vakuumkammer für den Heliumlecktest. Alle Bauelemente auf dem Wafer werden mit dem µscan leak test geprüft. Dabei werden sowohl große als auch kleine Verformungen der Membranen gemessen und analysiert. Das Messgerät ist im Vergleich zu anderen Testinstrumenten kostengünstig, dazu schnell und einfach zu bedienen.