Das µsurf blade wurde für die Messung und Auswertung von Schneidkantengeometrien, Folien oder Membranen bis zu einer Gesamtdicke von 0,8 mm entwickelt. Durch die besondere Anordnung zweier Messsysteme wird eine nanometergenaue Auflösung erreicht.

Beide Seiten der Probe werden einzeln erfasst und in ein 3D-Gesamtbild integriert, es wird der absolute Dickenverlauf ermittelt. Die patentierte vollautomatische Kalibrierung des Systems ermöglicht zuverlässige Messergebnisse.