Die robuste µsurf-Technologie basiert auf der CMP-Technologie (Confocal-Multi-Pinhole) von NanoFocus.
Ihr Vorteil: Sekundenschnell werden Topografie, Rauheit und Schichtdicke im Mikro- und Nanometerbereich erfasst. |
Die flexible µscan-Technologie basiert auf optischer 3D-Scanning- Profilometrie unter Einsatz verschiedener Punktsensoren.
Ihr Vorteil: Maßgeschneiderte Messlösungen für große Flächen oder einzelne Profillinien mit Auflösungen im Mikro- und Nanometerbereich. |
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