Zur Überprüfung von Oberflächenhärte und Beschichtungseigenschaften werden Härteprüfverfahren eingesetzt. Diese sogenannten Nanoimprints lassen sich nur mit hochpräziser Messtechnik erfassen und quantifizieren. Mit dem µsurf werden entsprechend hohe Auflösungen erreicht. Die Analysesoftware µsoft control und der µsoft analysis bieten vollen Komfort für die Protokollerstellung.

Produkte: µsurf explorer, µsurf custom, µsoft analysis

Bei der Positionierung von GHz-Chips auf das Substrat werden kleinste Klebemengen verwendet. Die falsche Menge kann dabei zur Funktionsstörung führen und das Bauteil unbrauchbar machen. Für die Kontrolle von Volumen und Geometrie der Nanoliter-Mengen wird eine genaue und schnelle Messtechnik benötigt. Das optische Profilometer µscan ermöglicht diese exakten Messungen problemlos.

Mikrolinsen lassen sich mit µsurf-Technologie dreidimensional und zerstörungsfrei in verschiedenen Stationen des Fertigungsprozesses messen. Zur Kontrolle der Qualität von Abformungsprozessen werden Master und Replikat miteinander verglichen und Abweichungen quantitativ dargestellt. Bei der Prüfung des gefertigten Linsenarrays wird die Linsengeometrie automatisch erfasst. Ein Soll-Ist-Vergleich kann beispielsweise auf Basis einer parametrischen Asphärenfunktion erfolgen. Mit der Stichingfunktion lassen sich komplette Linsenarrays aufnehmen.

Produkte: µsurf custom, µscan custom, µsoft analysis

In der Nachrichtentechnik werden Sternkoppler als Netzwerkelemente für Glasfasernetze eingesetzt. Mit der Untersuchung der 3D-Geometrie mit dem µsurf lassen sich Abweichungen von der Sollgeometrie bestimmen.
Das NanoFocus µsurf zeichnet sich dabei vor allem durch die präzise Wiedergabe steiler Flanken aus.

Bei der Herstellung von Hochdrucksensoren durch Ätzung werden zur Einstellung des Fertigungsprozesses verschiedene Geometrie-Parameter (Tiefe, Breite, Schichtdicke) sowie die Rauheit kontrolliert.
Das µsurf erfasst die Oberflächenrauheit, die Mikrogeometrie der Stege sowie die Beschichtungen der Metalloberflächen mit nur einer Messung.

Zur Kontrolle von Sub-Mikrometer-Strukturen in Glas muss das Messgerät auch bei schwacher Reflexion sicher messen und gleichzeitig eine hohe Auflösung garantieren. Hierzu kann die Kameraeinheit des µsurf an die Reflexionseigenschaften des Materials angepasst werden.

Die Basis für die Chip- und Solarindustrie bilden hochpräzise bearbeitete Wafer. In der Produktionskontrolle werden im Endbearbeitungsprozess Welligkeit und Rauheit des Wafers gemessen und analysiert. Typische Rauheiten liegen bei wenigen Nanometern. Die µsurf-Technologie erfasst dank Ihres robusten Aufbaus und ihrer nanometergenauen Messtechnik selbst solche geringen Rauheiten mühelos.

Produkte: µsurf custom, µsoft analysis