Schnellster konfokaler Sensor
Inlinefähig
Hohe Präzision
 
Unabhängig von Oberflächeneigenschaften
 
Einfache Integration
Hohe numerische Apertur


µsprint sensor - 100%-Kontrolle mit dem schnellsten konfokalen Sensor


Die flexiblen und extrem schnellen Konfokalsensoren der µsprint-Reihe sind für die Integration in Ihre Fertigungsmaschine vorbereitet. Mit derzeit bis zu 128 Kanälen machen sie mehr als eine Million Messungen pro Sekunde möglich und sind damit das ideale Tool für die Inline-Produktionskontrolle.


µsprint sensor

Mit mehr als einer Million Messungen pro Sekunde setzt µsprint neue Maßstäbe in Sachen Geschwindigkeit. In Kombination mit seiner hohen Präzision und einem großen Messfeld ist µsprint damit die inlinefähige All-in-One-Lösung für eine große Bandbreite von Messaufgaben.

Besonders geeignet ist der Sensor für die 3D-Forminspektion, die Bumpinspektion auf Wafern und Substraten sowie für die Inspektion von Laserschweißungen.

Der µsprint-Sensor basiert auf einem hochauflösenden, extrem schnellen konfokalen Mikroskop. Eine Laserlichtquelle projiziert dabei über ein optisches System einen Fokuspunkt auf eine Oberfläche. Das reflektierte Licht wird auf einen Detektor mit einer Lochblende fokussiert. Dabei wird das Maximum der Intensität ausgewertet. Dies erlaubt hochpräzise und extrem schnelle Messungen unabhängig von Oberflächenfarbe und -struktur.

Ob als Standalone-Lösung für das Labor, mit Umhausung für die industrielle Produktionsumgebung oder die Integration in bestehende Anlagen – die µsprint-Sensoren lassen sich flexibel und leicht integrieren.


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D-46149 Oberhausen

Tel: +49 (0) 208 62 000-0
Fax: +49(0) 208 62 000- 99
E-mail: info@nanofocus.de
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