1994

Gründung der NanoFocus Messtechnik GmbH in Duisburg.
Grundlagenforschung und Entwicklung hochauflösender optischer 3D-Mikroskopie wie der Phasenmikroskopie, konfokalen Weißlicht-Mikroskopie und 3D-Analyse-Software.

1997

Gründung der OM Engineering Optoelektronische Messtechnik GmbH.
Anwendungsentwicklung berührungsfreier 3D Laserprofilometrie

1999

Markteinführung der NanoFocus µsurf- und OM µscan-Produkte

2001

Verschmelzung der OM Engineering GmbH auf die NanoFocus GmbH und Rechtsformwechsel zur NanoFocus AG

2002

Marktsegmentierung und weltweiter Vertrieb

2003

Neuer Firmensitz: Oberhausen

2004

Sieger im Zukunftswettbewerb Ruhrgebiet
Aufbau Kompetenz-Zentrum Oberflächenmesstechnik

2005

Gründung NanoFocus Inc. Richmond/USA Börsennotierung

2006

Start der Skalierung; Erstes deutliches Umsatzwachstum +46%;
Umzug in die Lindnerstr. 98 nach Oberhausen

2007

Internationale Einführung des Standardproduktes "μsurf-explorer"
Vertriebsverträge mit IMSTec GmbH (Medizintechnik) und Graphische Technik und Handel GmbH (Druckindustrie)
Neue Standardsoftware zur Automatisierung "µsoft automation"

2008

Exklusiver Vertriebsvertrag mit Werth Messtechnik GmbH

2009

Auszeichnung des µsurf explorers mit dem red dot award
Übernahme der Siemens-Sparte SISCAN